Главная Кристаллизация металла Размерная обработка электронным лучом Оборудование для электронно лучевой обработки Пушка вакуумной системы Светолучевая обработка материалов Когерентное излучение Схема ОКГ Полупроводниковые ОКГ Технология светолучевой обработки материалов Нетрадиционные способы сварки Лазерная обработка Проточный газовый лазер Степень ионизации Плавление вещества Виды плазменной резки Системы электропитания Создание сильных магнитных полей Процессы в разрядной цепи Характер действия сил Удельная проводимость
двери из стеклаКонтинент - оперативное таможенное оформление |
Размерная обработка электронным лучом Существует много вариантов схем испарения, например многотигельное испарение, когда на одну подложку наносят покрытие сложного состава параллельно из нескольких тиглей. При этом подложку следует располагать в месте перекрещивания потоков испаряемых материалов. Можно осуществлять испарение разных веществ и из одного тигля, если в него подают материалы из нескольких бункеров. Такими способами получают, например, тройной псевдосплав из 90% титана, 6% алюминия и 4% ванадия.
При испарении материалов наличие вакуума обеспечивает получение чистых по составу пленок и улучшает адгезию осажденной пленки.
В зависимости от назначения процесса в промышленности применяют электронные пушки мощностью от 250 Вт до 200 кВт, а производительность процесса составляет от 1 г/ч до 100 кг/ч.
Электроннолучевое испарение применяют в микроэлектронике при нанесении различных металлических покрытий на стальную ленту при изготовлении фольги из псевдосплавов сложного состава. Электронным лучом м
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
© 2007 Познавай.info |