Главная Кристаллизация металла Размерная обработка электронным лучом Оборудование для электронно лучевой обработки Пушка вакуумной системы Светолучевая обработка материалов Когерентное излучение Схема ОКГ Полупроводниковые ОКГ Технология светолучевой обработки материалов Нетрадиционные способы сварки Лазерная обработка Проточный газовый лазер Степень ионизации Плавление вещества Виды плазменной резки Системы электропитания Создание сильных магнитных полей Процессы в разрядной цепи Характер действия сил Удельная проводимость
Континент - оперативное таможенное оформление |
Оборудование для электронно лучевой обработки куумный затвор 3 и вентили 4 служат для переключения откачиваемых объемов в зависимости от режима работы установки. При значительном газовыделении предпочитают схему, показанную на рис. IV. 16, б. В этой системе установлен бустерный паромасляный насос 5, облегчающий условия работы высоковакуумного агрегата.
Форвакуумный механический насос обеспечивает откачку вакуумной камеры от атмосферного давления до давления 10... 1 Па; пароструйный бустерный насос — до давления 1СИ ... 10~2 Па; диффузионный насос — до давления К)-2... 10 ~6 Па. Зная эти параметры насосов, выбирают схему откачки.
При работе диффузионных насосов пары рабочих жидкостей (масел) попадают в откачиваемый объем. Если по технологическим условиям наличие паров масла недопустимо, применяют насосы других типов (сорбционные, магниторазрядные, ионные, тур-бомолекулярные).
Контроль за значением вакуума обычно ведется в ходе всего технологического процесса, причем современная измерительная аппаратура позволяет вест
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
© 2007 Познавай.info |